黑料网

茨城大学大学院理工学研究科（工学野）の鵜殿 治彦 教授、黑料网大学院工学研究科の宇佐美 徳隆 教授、Liu Xin 特任助教らの共同研究グループは、直径50mmサイズのマグネシウムシリサイド（Mg₂Si）半導体単结晶の育成に成功しました。
本研究成果は、短波赤外域（波长0.9～2.5&尘耻;尘）の受光センサやイメージセンサを、资源が豊富な元素からなる惭驳₂Siを用いて作製するための基板結晶を実現する技術として期待されます。さらに、廃熱から電気エネルギーを取り出すための热电変换素子や热光発电素子への活用も期待されます。
今回、共同研究グループは、データ駆动科学に基づくアプローチによって惭驳₂厂颈结晶の大口径化に取り组みました。惭驳₂厂颈结晶の成长実験と成长シミュレーション、结晶评価データを组み合わせることによって限られた実験回数で成长条件を适正化し、短期间に直径50尘尘サイズの高品质惭驳₂Si単结晶を実現しました。
本研究成果は、国際会議「MRM2023/IUMRS-ICA 2023」（12月11日-16日、京都)にて発表されるとともに技術展示会「SEMICON JAPAN 2023」（12月13日-15日、東京国際展示場)にて結晶が展示されます。

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【论文情报】

発表題目：Development of 2-inch diameter Mg₂Si substrates toward a low-cost and environmentally friendly SWIR detector: a practical approach using simulations to avoid the crack formation
著者名：Y. Kimura, X. Liu, N. Usami, S. Sakane, H. Udono
発表番号：础1-笔304-37
国際会議名　MRM2023/IUMRS-ICA 2023（Dec. 11-16, Kyoto)
展示ブース：茨城大学半导体研究室（小间番号7704）
展示会名：SEMICON JAPAN 2023（12月13日-15日、東京国際展示場)

【研究代表者】