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工学

2024.07.16

金魚すくい!?紙すき!?で実現 ~大面積ナノシート膜の高速成膜法を開発~

黑料网未来材料?システム研究所の長田 実 教授らの研究グループは、酸化物、酸化グラフェン、窒化ホウ素などの二次元物质(ナノシート)の高速?大面积成膜法(自発集積転写法)の開発に成功しました。操作は简便であり、水面へのインク滴下と基板転写のみで、1分程度の短时间で成膜が完了します。まず、纯水を入れたビーカーにナノシートのインクを数滴滴下することで、水面で流氷が并ぶように、ナノシートが自発的に并んで、ナノシート緻密膜が形成されます。このように形成したナノシート緻密膜を金鱼すくい、纸すき操作で基板に転写することで、ウェハーサイズ、A4サイズのナノシート膜の成膜を実现できます。本技術は、専門的な知識、技術の必要がなく、高品質なナノシート膜の大面积成膜が可能であり、ナノシートの各種デバイスの工業的製造に向けた重要な技術に発展するものと期待されます。
本研究成果は、2024年7月7日付材料科学誌「厂尘补濒濒」のオンライン速报版に掲载されました。

 

【ポイント】

?二次元物质(ナノシート注1))の高速?大面积成膜法を開発
?水面にインク数滴滴下でナノシート膜を形成、金鱼すくい、纸すき操作で基板に転写
?1分でウェハーサイズ、A4サイズのナノシート膜の成膜を実现

 

◆详细(プレスリリース本文)はこちら

 

【用语説明】

注1)ナノシート:
原子1层、数层からなる物质。代表する物质としては、グラフェン、六方晶叠狈、迁移金属カルコゲナイド(惭辞厂2、奥厂2など)、酸化物ナノシートなどがある。

 

【论文情报】

论文誌:厂尘补濒濒
タイトル:Ultrafast 2D Nanosheet Assembly via Spontaneous Spreading Phenomenon
著者:施 越(研究当時 研究員), 李 紅(大学院生), 常松裕史(研究当時 大学院生), 尾関晴美(研究業務員), 加納貴美子(研究業務員), 山本瑛祐(助教), 小林 亮(准教授), 阿部浩也(大阪大学 教授), Chun-Wei Chen(国立台湾大学 教授), 長田 実(教授)
DOI: 10.1002/smll.202403915
URL:

 

【研究代表者】