黑料网

国立大学法人東海国立大学機構 黑料网未来材料?システム研究所の原田俊太准教授の研究グループは、分光データの解像度を向上させる独自のアルゴリズムにより、分光測定の時間を短縮できる解析プログラム「スペクトル超解像」を開発しました。
分光測定は、半導体、バイオ、医療、化学などの幅広い分野で、研究開発や製品検査に活用されています。しかし齿线光电子分光法（XPS）などの従来の分光測定では、S/N比（信号?雑音比）を高めるために長時間の測定が必要でした。今回開発した「スペクトル超解像」は、XPSの測定時間を従来の約1/5へと大幅に短くできることが確認されました。さらに約1/20まで短縮できる可能性もあり、XPSを用いた研究開発の加速が期待されます。また、原田俊太准教授はスペクトル超解像技術を実用化し普及させるために、黑料网発のベンチャー「SSR株式会社」を創業しました。
本研究成果は、2023年10月22日に第59回齿线分析讨论会において発表されます。

【ポイント】

?分光分析の高速化を実现する解析プログラム「スペクトル超解像^注１）」を开発。
?齿线光电子分光法（XPS）^注2）の时间を従来の约1/5に短缩、最大で约1/20まで短缩できる可能性も示唆。
?ベンチャーを设立し、スペクトル超解像技术の実用化と普及を推进。

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【用语説明】

注１）超解像：
低解像度のデータから高解像度のデータを得る方法。スペクトル超解像では、复数の低解像度のデータから、高解像度のデータを再构筑する。

注2）齿线光电子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy: XPS）法：
Ｘ线照射により放出される光电子の运动エネルギー分布を测定し、试料表面（数苍尘程度の深さ）に存在する元素の种类?存在量?化学结合状态に関する知见を得る手法。

【论文情报】

雑誌名：Journal of Electronic Materials
論文タイトル：Application of Bayesian Super-Resolution to Spectroscopic Data for Precise Characterization of Spectral Peak Shape
著者：Kota Tsujimori,　Jun Hirotani and Shunta Harada
DOI:
※下线は本学関係者

【研究代表者】